پلازما Etcher پاور Demystified

Jul 18, 2025

پلازما ايچر پاور بنياديات
پلازما ايچر جي طاقت ڪار جي ايڪسيليٽر وانگر آهي، سڌي طرح ايچنگ جي رفتار ۽ کوٽائي کي طئي ڪندي. وڌيڪ طاقت، وڏي پلازما جي کثافت ۽ تيزيء سان ايچنگ جي شرح. بهرحال، اعلي طاقت هميشه بهتر ناهي؛ ان کي مواد ۽ عمل جي ضرورتن جي بنياد تي ترتيب ڏيڻ جي ضرورت آهي.

گھٽ پاور (100-300W): سٺي نچڻ لاءِ مناسب ۽ مادي نقصان کي گھٽائي ٿو.

وچولي طاقت (300-600W): بيلنس ايچ جي شرح ۽ چونڊ.

هاء پاور (600W ۽ مٿي): مواد جي وڏي مقدار کي تيزيء سان ختم ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويو.

Etching نتيجن تي طاقت جو اثر

طاقت ۾ ننڍيون تبديليون ايچنگ جي نتيجن ۾ اهم فرق پيدا ڪري سگھن ٿيون:

ايچنگ جي شرح: طاقت ۾ هر 100W واڌ جي شرح تقريبن 15-20٪ وڌائي ٿي.

سليڪشن: گھڻي طاقت ماسڪ جي حفاظت کي گھٽائي سگھي ٿي.

هڪجهڙائي: طاقت جي وهڪري جي ڪري سگھي ٿي غير متضاد نقاشي جي کوٽائي.

ضمني پراڊڪٽس: پاور پلازما ڪيمسٽري کي متاثر ڪري ٿو، ضمني پيداوار جي قسمن کي تبديل ڪندي.

پاور اصلاح ۾ اهم عنصر

بهترين نقاشي جا نتيجا حاصل ڪرڻ لاء، هيٺين عنصر تي غور ڪيو وڃي:

گيس جو قسم: مختلف گيس کي مخصوص پاور رينج جي ضرورت هوندي آهي.

چيمبر جو دٻاء: دٻاء جي تبديلين جي ضرورت آهي ساڳئي طاقت جي ترتيبن جي.

ذيلي درجه حرارت: طاقت گھٽجي سگھي ٿي جيئن درجه حرارت وڌي وڃي.

اليڪٽرروڊ اسپيسنگ: فاصلو جيترو ننڍو هوندو، اوترو گهٽ پاور گهربل هوندو.