پلازما صاف ڪندڙ جي مخصوص ايپليڪيشنون

پلازما صاف ڪرڻ/اڇڻ واريون مشينون پلازما ٺاهينديون آهن ٻه اليڪٽروڊز کي سيل ٿيل ڪنٽينر ۾ رکي هڪ برقي ميدان ٺاهڻ لاءِ. هڪ ويڪيوم پمپ هڪ مخصوص ويڪيوم سطح کي برقرار رکڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي. جيئن ته گئس تيزيءَ سان ناياب ٿئي ٿي، تيئن ماليڪيولن جي وچ ۾ فاصلو ۽ ماليڪيولن يا آئنز جي آزاد حرڪت پڻ وڌي ٿي. اليڪٽرڪ فيلڊ جي اثر هيٺ، اهي آئنز ٽڙيندا آهن ۽ پلازما ٺاهيندا آهن. اهي آئنز انتهائي رد عمل وارا هوندا آهن، ڪافي توانائي سان لڳ ڀڳ سڀني ڪيميائي بانڊن کي ٽوڙڻ لاءِ، ڪنهن به ظاهري سطح تي ڪيميائي رد عمل پيدا ڪرڻ. مختلف گئس پلازما مختلف ڪيميائي ملڪيت آهن. مثال طور، آڪسيجن پلازما انتهائي آڪسائيڊنگ آهي، آڪسائيڊ ڪرڻ جي قابل آهي photoresist گئس پيدا ڪرڻ لاء، اهڙيء طرح هڪ صفائي اثر حاصل ڪري. Corrosive gas Plasma ۾ شاندار anisotropy آهي، جيڪا نچڻ جي ضرورتن کي پورو ڪري ٿي. پلازما علاج هڪ چمڪ پيدا ڪري ٿو، تنهنڪري نالو چمڪندڙ خارج ٿيڻ.
پلازما جي صفائي جو ميڪانيزم بنيادي طور تي پلازما ۾ فعال ذرات جي "فعاليت" تي ڀاڙي ٿو ته مٿاڇري جي داغ کي هٽائڻ لاء. رد عمل جي ميڪانيزم جي لحاظ کان، پلازما جي صفائي عام طور تي هيٺين عمل ۾ شامل آهي: غير نامياتي گيسز پلازما جي حالت ۾ پرجوش آهن؛ گيس واري مادي کي مضبوط سطح تي جذب ڪيو ويندو آهي؛ جذب ٿيل گروهه مضبوط مٿاڇري تي ماليڪيولن سان رد عمل ظاهر ڪن ٿا ته جيئن پيداوار جا ماليڪيول ٺاهي سگهن. پيداوار جا ماليڪيول گئس جي مرحلي ۾ ٺهندا آهن؛ ۽ رد عمل جي باقيات کي مٿاڇري تان هٽايو ويندو آهي.

پلازما صاف ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي سڀ کان اهم خصوصيت اها آهي ته اها ڪنهن به ذيلي قسم جو علاج ڪري سگهي ٿي، جنهن ۾ ڌاتو، سيمڪ ڪنڊڪٽرز، آڪسائيڊس، ۽ اڪثر پوليمر مواد جهڙوڪ پوليوپروپيلين، پوليسٽر، پوليمائيڊ، پولي ونائل کلورائڊ، ايپوڪسي، ۽ حتي پوليٽيٽرافلووروٿيلين. اهو مڪمل سطح ۽ مخصوص علائقن کي صاف ڪري سگهي ٿو، گڏوگڏ پيچيده جوڙجڪ.