LCD آر ايف پلازما جو سامان

LCD RF پلازما سامان هڪ اعلي-ڪارڪردگي نظام آهي جيڪو LCD، OLED، ۽ ٻين فليٽ پينل ڊسپلي مواد جي سطح جي علاج لاءِ تيار ڪيو ويو آهي. اهو جديد پيداوار جي سخت مطالبن کي پورو ڪرڻ لاء ٺهيل آهي، جتي مستحڪم پروسيسنگ ۽ اعلي throughput برابر اهم آهن. مجموعي سسٽم جي ماپ 880mm × 790mm × 1710mm، 450mm × 450mm × 450mm جي ويڪيوم چيمبر جي ماپ سان. هر اليڪٽرروڊ پليٽ 410mm × 430mm آهي، ۽ ذيلي ذخيرو جي پنجن تہن کي هڪ ئي چڪر ۾ هڪ ئي وقت تي عمل ڪري سگهجي ٿو.

 

هڪ فنڪشنل نقطه نظر کان، سامان هڪ صارف دوست HMI مهيا ڪري ٿو- جيڪو سڌو سنئون ترتيب ڏيڻ جي اجازت ڏئي ٿو اهم پروسيس جي پيٽرولن جهڙوڪ آر ايف آئوٽ پاور، ويڪيوم پمپنگ جي مدت، انفرادي علاج جا حصا، ۽ گيس جي وهڪري جي شرح. اهي سيٽنگون مختلف مواد يا پروسيس جي ضرورتن کي ترتيب ڏيڻ لاء جلدي تبديل ڪري سگھجن ٿيون، صنعتي عملن لاء لچڪدار ۽ استحڪام ٻنهي کي پيش ڪن ٿا.

گيس پهچائڻ وارو نظام ٽن آزاد چينلن کي سپورٽ ڪري ٿو ۽ نائيٽروجن (N₂)، آرگن (Ar)، هائڊروجن (H₂)، ۽ آڪسيجن (O₂) کي سنڀالي سگھي ٿو. فلو ميٽرن کي 0-200 ml/min جي حد اندر حساب ڪيو ويندو آهي، ڪنٽرول جي درستگي سان 5% کان هيٺ وهڪري کي برقرار رکندي. سڀ وڏا نيوميٽڪ جزا SMC پاران فراهم ڪيا ويندا آهن، ۽ چيمبر جي سيلنگ پائيدار فلورو-ربر گيسڪٽس تي ڀاڙيندي آهي، گهربل ماحول ۾ ڊگھي-استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي. پلازما 13.56 MHz تي ڪم ڪندڙ خود مختيار RF پاور سپلائي ذريعي پيدا ڪيو ويو آهي، وڌ ۾ وڌ 1 kW جي پيداوار سان، يونيفارم علاج لاءِ قابل اعتماد توانائي پهچائڻ جي ضمانت ڏئي ٿي.

ساخت جي لحاظ کان، چيمبر اعلي-پاڪيءَ واري 304 اسٽينلیس سٹیل مان ٺاهيو ويو آهي ته جيئن آڪسائيڊشن ۽ سنکنرن کي گھٽ ڪري سگهجي. سسٽم ويڪيوم انٽيٽيٽيٽي لاءِ ڊبل-سيل ڊيزائن استعمال ڪري ٿو، جڏهن ته چيمبر جي پوئين پاسي تانپر اليڪٽرروڊ هولڊر ڪيترن ئي اسڪرو لاڪز ذريعي افقي اليڪٽرروڊ پليٽن کي محفوظ ڪري ٿو، استحڪام ۽ توانائي جي منتقلي کي بهتر بڻائي ٿو. اضافي پاسي کي سپورٽ ڪري ٿو وڌيڪ اليڪٽروڊس کي مضبوط ڪرڻ. ويڪيوم بيلنس کي بهتر ڪيو ويو آهي: هڪ تيز- رليز والو 5-10 سيڪنڊن اندر پريشر برابر ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو، بيڪار وقت کي گهٽائڻ ۽ پيداوار کي وڌائڻ.

آپريشنل حفاظت کي يقيني بڻائڻ لاء، مشين هڪ غلطي الارم سسٽم سان ليس آهي. اهو تاريخ، وقت، ۽ ڪنهن به غير معمولي واقعي جي سبب کي لاگ ان ڪري ٿو، جڏهن ته چيمبر ۽ ورڪ پيس ٻنهي کي بچائڻ لاء خودڪار بند ٿيڻ شروع ڪيو ويو آهي.

ايپليڪيشن جي لحاظ کان، هي سامان وڏي پيماني تي فلپ-چپ انڊر فل جي عملن لاءِ اختيار ڪيو ويو آهي. انڊر فل ڪرڻ کان اڳ پلازما جي صفائي خاص طور تي مٿاڇري جي چالو کي وڌائي ٿي، گندگي کي بهتر بڻائي ٿي، ۽ سبسٽريٽ ۽ انڪپسولنٽ جي وچ ۾ آسنجن کي وڌائي ٿي. نتيجي طور، اهو نه صرف پيڪنگنگ جي معيار کي بهتر بڻائي ٿو پر ترقي يافته ڊسپلي ۽ سيمي ڪنڊڪٽر اسيمبلين جي ڊگهي مدت جي اعتبار کي به وڌائي ٿو.

گرم ٽيگ: ايل سي ڊي آر ايف پلازما سامان، چين ايل سي ڊي آر ايف پلازما سامان ٺاهيندڙن، ڪارخانو